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SPA6100半導(dǎo)體參數(shù)分析儀

SPA6100半導(dǎo)體參數(shù)分析儀具有高精度、寬測量范圍、快速靈活、兼容性強等優(yōu)勢，產(chǎn)品可以同時支持DC電流-電壓(I-V)、電容-電壓(C-V)以及高流高壓下脈沖式I-V特性的測試。

基于模塊化的結(jié)構(gòu)設(shè)計,可以幫助用戶根據(jù)測試需要,靈活選配測量單元進行升級。產(chǎn)品支持最高1200V電壓、100A大電流、1pA小電流分辨率的測量,同時檢測10kHz至1MHz范圍內(nèi)的多頻AC電容測量。

搭載專用半導(dǎo)體參數(shù)測試軟件,支持交互式手動操作或結(jié)合探針臺的自動操作,能夠從測量設(shè)置、執(zhí)行、結(jié)果分析到數(shù)據(jù)管理的整個過程，實現(xiàn)高效和可重復(fù)的器件表征；也可與高低溫箱、溫控模塊等搭配使用，滿足高低溫測試需求。

產(chǎn)品特點

● 30μV-1200V，1pA-100A 寬量程測試能力

● 測量精度高，全量程下可達0.03%

● 內(nèi)置標(biāo)準器件測試程序，直接調(diào)用測試簡便

● 自動實時參數(shù)提取、數(shù)據(jù)繪圖、分析函數(shù)

● 在CV和IV測量之間快速切換而無需重新布線

● 提供靈活的夾具定制方案，兼容性強

● 免費提供上位機軟件及SCPI指令集

圖形化軟件界面

配合普賽斯自主開發(fā)的專業(yè)測試軟件，SPA6100可輕松實現(xiàn)半導(dǎo)體材料，器件的參數(shù)測試。系統(tǒng)內(nèi)置常用器件模板，如二極管，三極管，MOSFET。測試過程中，可直接調(diào)用，只需簡單設(shè)置測試參數(shù)即可。軟件支持測試數(shù)據(jù)顯示，以及曲線繪制。測試完畢后，可將數(shù)據(jù)以及曲線導(dǎo)出保存。

靈活可定制化的夾具方案

針對市面上不同封裝類型的半導(dǎo)體器件產(chǎn)品，普賽斯提供整套夾具解決方案。夾具具有低阻抗、安裝簡單、種類豐富等特點，可用于二極管、三極管、場效應(yīng)晶體管、IGBT、SiC MOS、GaN等單管，模組類產(chǎn)品的測試；也可與探針臺連接，實現(xiàn)晶圓級芯片測試。

不同封裝類型的夾具

產(chǎn)品選型

低壓直流I-V源測量單元

型號	精度	最大電壓量程	最小電壓量程	最小電壓分辨率	最大電流量程	最小電流量程	最小電流分辨率
SPA-S100	0.1%	30V	300mV	30μV	1A	100nA	10pA
SPA-S200	0.1%	100V	300mV	30μV	1A	100nA	10pA
SPA-S300	0.1%	300V	300mV	30μV	1A	100nA	10pA
SPA-S100B	0.03%	30V	300mV	30μV	3A	100nA	10pA
SPA-S200B	0.03%	100V	300mV	30μV	3A	100nA	10pA
SPA-S300B	0.03%	300V	300mV	30μV	3A	100nA	10pA

低壓脈沖I-V源測量單元

型號	精度	最大電壓量程	最小電壓量程	最小電壓分辨率	最大電流量程	最小電流量程	最小電流分辨率	最小脈沖寬度
SPA-P100	0.1%	30V	300mV	30μV	1A（直流）/10A（脈沖）	100nA	10pA	200μs
SPA-P200	0.1%	100V	300mV	30μV	1A（直流）/10A（脈沖）	100nA	10pA	200μs
SPA-P300	0.1%	300V	300mV	30μV	1A（直流）/10A（脈沖）	100nA	10pA	200μs

高壓I-V源測量單元

型號	精度	最大電壓量程	最小電壓量程	最小電壓分辨率	最大電流量程	最小電流量程	最小電流分辨率
SPA-E100	0.1%	1200V	100V	10mV	100mA	1μA	100pA

高流I-V源測量單元

型號	精度	最大電壓量程	最小電壓量程	最小電壓分辨率	最大電流量程	最小電流量程	最小電流分辨率	最小脈沖寬度
SPA-HCP100	0.1%	50V	300mV	30μV	30A（直流）/30A（脈沖）	100nA	10pA	80μs
SPA-HCP200	0.1%	50V	300mV	30μV	30A（直流）/30A（脈沖）	100nA	10pA	80μs
SPA-HCP300	0.1%	100V	300mV	30μV	30A（直流）/100A（脈沖）	100nA	10pA	80μs

電容測量單元

型號	測試頻率	測試點數(shù)	頻率分辨率	頻率輸出精度	基本精度	內(nèi)部直流偏置信號	可測參數(shù)與量程
SPA-C100	10Hz-1MHz	可編程	5 位	±0.1%	±0.5%	10mV to 2V (1mV 分辨率) / 100uA-20mA	｜Z｜ , R, X 0.001mΩ-99.999MΩ ｜Y｜ , G, B 0.1nS-99.999S Cs Cp 0.01pF-9.9999F

型號

測試頻率

測試點數(shù)

頻率分辨率

頻率輸出精度

基本精度

內(nèi)部直流偏置信號

可測參數(shù)與量程

SPA-C100

10Hz-1MHz

可編程

5 位