專注于半導(dǎo)體電性能測(cè)試
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1、MPD晶圓測(cè)試
測(cè)試設(shè)備:脈沖源表P300+探針臺(tái)
異常現(xiàn)象:測(cè)試中存在一個(gè)3nA左右的漏電流
圖:異常測(cè)試曲線圖 異常原因:測(cè)試現(xiàn)場(chǎng)的連接線屏蔽層接地不達(dá)標(biāo),外界電磁環(huán)境的作用下使設(shè)備對(duì)大地的電位發(fā)生變化,造成設(shè)備工作不穩(wěn)定 優(yōu)化措施:將屏蔽層接地 圖:優(yōu)化后測(cè)試曲線圖 2、三極管測(cè)試 測(cè)試設(shè)備:2臺(tái)直流源表S300+探針臺(tái) 異常現(xiàn)象:源表輸出0-3V的電壓掃描,當(dāng)輸出的電壓小于0.5V時(shí),源表回讀的電壓值為-0.5V 圖:異常測(cè)試結(jié)果 異常原因:探針臺(tái)沒有接地,探針臺(tái)結(jié)構(gòu)上存在金屬,在帶電的環(huán)境下會(huì)存在靜電,從而對(duì)測(cè)試結(jié)果帶來影響 優(yōu)化措施:將探針臺(tái)通過導(dǎo)線接入大地 3、芯片測(cè)試 測(cè)試設(shè)備:直流源表S300+探針臺(tái) 異?,F(xiàn)象:源表未輸出,探針冒火花
圖:異常測(cè)試-探針冒火花
異常原因:三同軸線纜GUARD信號(hào)懸空。GUARD信號(hào)如連接正確,其電勢(shì)與信號(hào)層基本一致,所以漏電很小,從而對(duì)信號(hào)起到了一定的保護(hù)作用;但是GUARD信號(hào)懸空,其與信號(hào)層的電勢(shì)差較大,這樣漏電較大,對(duì)信號(hào)的影響很大 優(yōu)化措施:將GUARD信號(hào)接入源表,使GUARD信號(hào)起到保護(hù)作用
4、PD測(cè)試
測(cè)試設(shè)備:直流源表S300+探針臺(tái)
異常現(xiàn)象:源表在100nA的量程下,輸出-2V電壓,實(shí)際顯示-2.69V
圖:異常測(cè)試結(jié)果
異常原因:客戶使用的同軸線接觸不良,探針臺(tái)沒有接地 優(yōu)化措施:更換新的同軸線,將探針臺(tái)通過導(dǎo)線接入大地 圖:優(yōu)化后測(cè)試結(jié)果