專(zhuān)注于半導(dǎo)體電性能測(cè)試
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好久不見(jiàn),普賽斯知識(shí)小課堂再次回到各位身邊。本期課堂主要和大家聊聊數(shù)字源表的選型指南。
數(shù)字源表也稱(chēng)為源測(cè)量單元(Source Measure Unit,SMU), 集數(shù)字萬(wàn)用表、電壓源、電流源、電子負(fù)載以及脈沖發(fā)生器、波形發(fā)生器等功能于一體,在功率半導(dǎo)體測(cè)試、光電子器件研究、晶體管檢定等方面被廣泛應(yīng)用,可以簡(jiǎn)化測(cè)試系統(tǒng),提高測(cè)試效率。
不知道怎么選擇SMU?不妨來(lái)“挖一挖”
1、確認(rèn)待測(cè)DUT的電流電壓最大范圍
在選擇源表時(shí),需要先確認(rèn)待測(cè)DUT的電流電壓最大范圍,以此為參照來(lái)選擇源的輸出范圍,這個(gè)輸出范圍是指源表對(duì)外輸出恒定電壓/電流的功能范圍。這里需要注意,由于源表有總功率的限制,其輸出不能同時(shí)達(dá)到電流輸出和電壓輸出的最大值。
源表采用四象限工作模式。當(dāng)電壓、電流均為正時(shí),源表工作在第一象限;當(dāng)電壓為負(fù)、電流為正時(shí),源表工作在第二象限;當(dāng)電壓、電流均為負(fù)時(shí),源表工作在第三象限;當(dāng)電壓為正、電流為負(fù)時(shí),源表工作在第四象限。
2、避免器件自熱效應(yīng)對(duì)測(cè)試結(jié)果的影響
以SiC、GaN為代表的第三代半導(dǎo)體材料具備高禁帶寬度、高熱導(dǎo)率、高擊穿場(chǎng)強(qiáng)、高電子飽和漂移速率等特點(diǎn),在沒(méi)有自熱效應(yīng)的情況下測(cè)量半導(dǎo)體材料和器件的真實(shí)狀態(tài)至關(guān)重要。脈沖表征是自熱效應(yīng)的有效解決方案,其原理是通過(guò)短時(shí)間通電(脈沖)來(lái)降低溫升對(duì)半導(dǎo)體性能的影響,進(jìn)而得到更真實(shí)的數(shù)據(jù),實(shí)現(xiàn)更快速和更精準(zhǔn)的測(cè)量。對(duì)于高速數(shù)字化或波形采集的應(yīng)用場(chǎng)景,脈沖測(cè)試具有更高的分辨率,可以做到更優(yōu)的采樣性能,在同等帶寬下可獲得更精確的瞬態(tài)特性,是波形捕獲和瞬態(tài)特性應(yīng)用的理想選擇。
3、關(guān)注綜合測(cè)試指標(biāo)
考慮數(shù)字源表的測(cè)試指標(biāo)時(shí),關(guān)鍵術(shù)語(yǔ)不要忽視,例如:精度、重復(fù)性、分辨率、靈敏度和NPLC采樣時(shí)間。
以精度為例,源表關(guān)注的測(cè)量精度應(yīng)包含電流測(cè)量精度和電壓測(cè)量精度。例如,在功率器件靜態(tài)參數(shù)測(cè)試中,關(guān)注10O0A及以上高電流量程下的輸出及測(cè)量精度尤為重要。
4、確認(rèn)所需通道數(shù)量
當(dāng)用戶(hù)有多路測(cè)試需求時(shí),我們推薦用戶(hù)選擇普賽斯CS系列插卡式數(shù)字源表,最高可實(shí)現(xiàn)40路同時(shí)測(cè)量及輸出。
也可以選擇將多臺(tái)單通道數(shù)字源表(SMU)連接起來(lái),可以作為多通道源/測(cè)量單元使用,無(wú)需復(fù)雜的布線。通過(guò)此功能,只需要對(duì)主機(jī)和從機(jī)進(jìn)行相關(guān)觸發(fā)設(shè)置,主機(jī)可以從A向從機(jī)發(fā)送測(cè)試數(shù)據(jù),接上專(zhuān)用的觸發(fā)信號(hào)線之后,即可實(shí)現(xiàn)多臺(tái)源表間的同步。
如需了解更詳細(xì)的選型指導(dǎo)不妨再來(lái)普賽斯“挖一挖”。