專注于半導(dǎo)體電性能測(cè)試
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何為氣體傳感器?
氣體傳感器是一種氣敏裝置,能將被測(cè)氣體濃度轉(zhuǎn)換為與其成一定關(guān)系的電量輸出的裝置或器件,廣泛應(yīng)用于智能家居、汽車(chē)電子、消費(fèi)電子、可穿戴設(shè)備、醫(yī)療、工業(yè)過(guò)程、環(huán)境監(jiān)測(cè)等行業(yè)。
根據(jù)傳感器的氣敏材料以及氣敏材料與氣體相互作用的機(jī)理和效應(yīng)不同,主要可以分為半導(dǎo)體式、固體電解質(zhì)式、電化學(xué)式、接觸燃燒式、
光學(xué)式及熱導(dǎo)式等傳感器類型。今天我們來(lái)重點(diǎn)講講半導(dǎo)體氣體傳感器。
半導(dǎo)體氣體傳感器的種類有哪些?
按照半導(dǎo)體變化的物理特性,可分為電阻型和非電阻型。按照半導(dǎo)體與氣體相互作用時(shí)產(chǎn)生的變化只限于半導(dǎo)體表面或深入到半導(dǎo)體內(nèi)部,又可分為表面控制型和體控制型。
半導(dǎo)體氣體傳感器是如何感知?dú)怏w存在的?
半導(dǎo)體氣體傳感器是利用半導(dǎo)體氣敏元件和氣體接觸,造成氣敏元件本身的電導(dǎo)率發(fā)生變化這一機(jī)理來(lái)進(jìn)行檢測(cè)的器件。電阻型半導(dǎo)體氣體傳感器是用金屬氫化物材料制作的敏感元件,利用其阻值的變化來(lái)檢測(cè)氣體的濃度。
氣敏電阻結(jié)構(gòu)示意圖
氣敏器件阻值-濃度關(guān)系
非電阻型半導(dǎo)體氣敏元件是利用其它參數(shù),如二極管伏安特性和場(chǎng)效應(yīng)晶體管的閾值電壓變化來(lái)檢測(cè)被測(cè)氣體的。
非電阻型氣敏器件結(jié)構(gòu)示意圖
Pd-Ti口2二極管的l-V特性(25℃)
如何評(píng)判半導(dǎo)體氣體傳感器的性能?
在半導(dǎo)體氣體傳感器研究的早期階段,利用I-V特性分析技術(shù),可以簡(jiǎn)化半導(dǎo)體氣體傳感器的合格驗(yàn)證。半導(dǎo)體氣體傳感器根據(jù)材料的不同,其阻值跨度大﹐覆蓋Ω~GΩ范圍。針對(duì)不同氣敏材料的半導(dǎo)體氣體傳感器進(jìn)行測(cè)試,需要有高效的檢測(cè)方案。
普賽斯高精度數(shù)字源表
普賽斯自主研發(fā)的高精度數(shù)字源表,具備大動(dòng)態(tài)范圍、高輸入阻抗等優(yōu)點(diǎn)。可覆蓋Ω~GΩ不同阻值范圍的氣體傳感器測(cè)試需求,是氣體傳感器測(cè)試儀器的最佳選擇。如:
①實(shí)時(shí)測(cè)試多種材料在同一氣體條件下的電阻值反應(yīng)靈敏度
②在低電壓下進(jìn)行高范圍跨度(Ω、KΩ、MΩ、GΩ)的電阻測(cè)量,測(cè)試設(shè)備輸入電阻要求高
③I-V曲線掃描
④支持≤40通遒氣敏電阻R/t特性測(cè)試,并可記錄存檔。
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適用行業(yè):
-半導(dǎo)體氣體傳感器/固體電解質(zhì)氣體傳感器/電化學(xué)氣體傳感器/接觸燃燒式氣體傳感器/光學(xué)氣體傳感器/熱導(dǎo)式氣體傳感器性能驗(yàn)證
-氣敏材料研究/氣體傳感器新技術(shù)研發(fā)
-壓力傳感器/MEMS傳感器/溫濕度傳感器等
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