專注于半導(dǎo)體電性能測試
概述
納米材料,定義為粒徑在1-100納米之間的一類超細(xì)材料,具有表面效應(yīng)、小尺寸效應(yīng)、宏觀量子隧道效應(yīng)等一些特殊物理化學(xué)性能。由于結(jié)構(gòu)比表面積大,粒徑小,表面原子比例高等特點(diǎn),使得納米材料在電學(xué)、熱力學(xué)以及催化等多個(gè)方面具有獨(dú)特的性能。按納米的尺度在空間的表達(dá)特征,可分為零維納米材料即納米顆粒材料、一維納米材料(如納米線、棒、絲、管和纖維等)、二維納米材料(如納米膜、納米盤、超晶格等)、納米結(jié)構(gòu)材料即納米空間材料(如介孔材料等)。按納米材料的不同功能以及應(yīng)用,可分為納米發(fā)電材料、納米磁性材料、納米催化材料、納米智能材料、納米吸波材料、納米熱敏材料等。
圖1:納米材料結(jié)構(gòu)示意圖
圖2:納米材料分類
在納米材料的研發(fā)中,對材料從不同維度進(jìn)行表征尤為重要,是評估材料性能、研發(fā)工藝等的關(guān)鍵環(huán)節(jié)。常見的納米材料表征包括結(jié)構(gòu)表征、成分分析、形貌表征、以及性能表征-光、電、磁、熱、力等。納米材料的電特性表征,即對制成的納米材料或者器件,施加壓力、溫度、電壓或者電流等激勵(lì)源,測試樣品在不同種類以及不同強(qiáng)度的激勵(lì)下,其相關(guān)電性能參數(shù),如電流(I)、電壓(V)或者電阻(Ω)的變化情況,從而用于進(jìn)一步分析納米材料。
霍爾效應(yīng)測試
當(dāng)電流垂直于外磁場通過納米材料時(shí),載流子發(fā)生偏轉(zhuǎn),垂直于電流和磁場的方向會(huì)產(chǎn)生附加電場,從而在半導(dǎo)體兩端產(chǎn)生電勢差,這一現(xiàn)象稱為霍爾效應(yīng)。霍爾效應(yīng)測試常用的測試方法是范德堡法,并在測試時(shí)外加磁場。
圖:霍爾效應(yīng)測試系統(tǒng)架構(gòu)
電阻率測試
二維納米材料(如石墨烯)電阻率測試是重要的測試項(xiàng)目,測試方法主要為四探針法與范德堡法。
對于規(guī)則圓形的材料樣品,電阻率測試比較方便的方法是四探針法,四探針法優(yōu)勢在于分離電流和電壓電極,消除布線及探針接觸電阻的阻抗影響。范德堡法為更通用的四探針測量技術(shù),對樣品形狀沒有要求,且不需要測量樣品所有尺寸。
圖:四探針法測試系統(tǒng)架構(gòu)
圖:范德堡法測試系統(tǒng)架構(gòu)
納米材料高溫原位表征技術(shù)
高溫原位表征系統(tǒng)基于高精度數(shù)字源表,控制MEMS芯片在原位樣品臺(tái)內(nèi)對樣品構(gòu)建精細(xì)熱場自動(dòng)調(diào)控及反饋測量系統(tǒng),并結(jié)合透射電子顯微鏡(TEM)研究材料在不同熱場條件下發(fā)生結(jié)構(gòu)相變、形貌變化、物性變化以及電性變化等關(guān)鍵信息,是納米材料結(jié)構(gòu)表征科學(xué)最新穎、最有發(fā)展空間的表征技術(shù)之一。
圖:原位TEM電性能表征
注:圖片來源于“Phase and polarization modulation in two-dimensional In2Se3 via in situ transmission electron microscopy
納米材料的典型應(yīng)用及電性能測試方案
納米電極材料應(yīng)用及測試表征
雙極板(BPP)材料應(yīng)用及測試表征
納米壓敏陶瓷材料應(yīng)用及電性能測試表征
納米發(fā)電材料應(yīng)用及測試表征
有機(jī)場效應(yīng)晶體管應(yīng)用及測試表征
如需獲取詳細(xì)系統(tǒng)搭建方案及測試線路連接指南,歡迎來電咨詢18140663476!